Termochillers

Termochillers para Equipamentos de Semicondutores

Controle térmico de altíssima precisão para processos críticos na fabricação de componentes eletrônicos.

A indústria de semicondutores exige um controle de temperatura extremamente rigoroso e estável para garantir a qualidade e a repetibilidade dos processos de fabricação. Nossos termochillers são projetados para oferecer a máxima precisão no resfriamento de equipamentos como 'etching', 'deposition' e 'lithography', assegurando a integridade dos componentes e a eficiância da produção.

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Technical Specifications

1 kW a 30 kW

Capacidade de Refrigeração

± 0.1°C

Estabilidade de Temperatura

-20°C a +90°C

Faixa de Temperatura

Process Requirements

Litografia (Lithography)

Humidity:30% a 50% UR

Controle preciso da temperatura do 'wafer' e dos sistemas ópticos para garantir a definição exata dos padrões de circuito.

Deposição (Deposition/CVD)

Humidity:N/A

Manutenção de temperaturas estáveis para a deposição uniforme de filmes finos sobre o substrato de silício.

Sector Challenges

Precisão e Estabilidade Térmica

Variações mínimas de temperatura podem comprometer a integridade dos circuitos, exigindo sistemas de refrigeração com altíssima estabilidade.

Contaminação e Limpeza

O ambiente de sala limpa exige equipamentos que não liberem partículas e que sejam compatíveis com os rigorosos padrões de limpeza.

Operação Contínua 24/7

A produção de semicondutores opera ininterruptamente, demandando equipamentos de refrigeração com máxima confiabilidade e redundância.

Our Solutions

Termochillers

Nossos termochillers oferecem controle de temperatura com precisão de ± 0.1°C, design compacto e materiais compatíveis com salas limpas, garantindo a estabilidade e a pureza necessárias para os processos de fabricação de semicondutores.

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Regulations and Standards

SEMI S2/S8 (Normas de segurança e ergonomia para equipamentos de semicondutores)

ISO 14644-1 (Classificação de limpeza do ar em salas limpas)

ABNT NBR ISO 9001 (Sistemas de gestão da qualidade)

Benefits for Your Business

Aumento de até 15% no 'yield' (taxa de aproveitamento) dos wafers devido à estabilidade térmica superior.

Redução de 20% no consumo de energia em comparação com sistemas de refrigeração convencionais.

Garantia de 99.9% de 'uptime' do equipamento com sistemas de controle redundantes e monitoramento remoto.

Conformidade total com as normas para salas limpas ISO Classe 5 (ou superior).

Success Case

Aumento de 12% no 'yield' de produção, redução de 95% nas paradas não programadas por falhas térmicas e um payback do investimento em 11 meses.

Frequently Asked Questions

Qual a importância da estabilidade de temperatura na fabricação de semicondutores?

A estabilidade térmica é crítica para garantir que as dimensões e propriedades dos circuitos sejam uniformes. Variações podem causar defeitos, reduzindo drasticamente a taxa de aproveitamento (yield) e a confiabilidade dos componentes.

Os termochillers da Helioterm são compatíveis com ambientes de sala limpa?

Sim, nossos termochillers são projetados com gabinetes de aço inoxidável, componentes selados e baixa emissão de partículas, atendendo aos rigorosos requisitos de salas limpas até a classe ISO 5.

Como a Helioterm garante a confiabilidade dos equipamentos em operação 24/7?

Utilizamos componentes de alta durabilidade, sistemas de controle com redundância, e oferecemos planos de manutenção preditiva com monitoramento remoto para garantir a máxima disponibilidade e performance contínua.

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