Indústria de Semicondutores

Utilidade de água gelada selecionada para cargas térmicas de processo

Em semicondutores, a utilidade térmica deve ser dimensionada para equipamentos, carga variável, fluido secundário, estabilidade requerida e contingência. O Chiller Oil-Free utiliza compressor centrífugo de alta rotação sem circuito de óleo e mancais foil sustentados, em regime, por película gasosa gerada pelo próprio refrigerante. O circuito refrigerante é selado e separado do ar da sala limpa e dos fluidos de processo. A classificação de sala limpa, o controle de partículas e a qualidade da água ultrapura dependem de sistemas e validações específicos.

Tecnologia do compressor: Centrífugo oil-free com mancais foil.

Capacidade de referência do módulo compressor: 8 a 60–80 kW por módulo*.

Evaporação de referência: −5 a 20 °C.

Configuração do chiller: Um ou múltiplos módulos, conforme projeto.