Chillers Oil-Free

Indústria de Semicondutores

Tecnologia de Refrigeração Pura para a Fabricação de Chips e Wafers

A fabricação de semicondutores é um processo de alta precisão que ocorre em salas limpas e exige um controle de temperatura rigoroso e, acima de tudo, um ambiente livre de contaminação. A presença de óleo, mesmo em micropartículas, pode comprometer lotes inteiros de wafers, resultando em perdas financeiras significativas e atrasos na produção. Os chillers oil-free da Helioterm, com sua tecnologia de compressores de levitação magnética, são a solução definitiva para este desafio. Ao eliminar completamente o óleo do sistema de refrigeração, garantimos a pureza do ar e da água utilizados nos processos críticos de litografia, deposição e corrosão. Nossa tecnologia assegura um controle de temperatura com variações mínimas, tipicamente de ±0.1°C, um requisito indispensável para evitar deformações nos wafers e garantir a uniformidade dos circuitos integrados. A confiabilidade e a eficiência energética dos nossos equipamentos se traduzem em menor custo operacional e maior produtividade para a sua planta.

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Technical Specifications

50 a 300 TR

Capacidade de Refrigeração

-10°C a +20°C (com controle de precisão de ±0.1°C)

Faixa de Temperatura

Inferior a 75 dBA

Nível de Ruído

Process Requirements

Controle de Temperatura em Litografia

Humidity:±5% UR

Manter a temperatura do fotorresiste e dos equipamentos de exposição UV estável para garantir a precisão das geometrias dos circuitos.

Resfriamento em Processos de Corrosão a Seco (Dry Etching)

Humidity:N/A

Remover o calor gerado durante o processo de plasma para garantir taxas de corrosão uniformes e evitar danos aos wafers.

Sector Challenges

Contaminação por Óleo

A menor partícula de óleo pode inutilizar um wafer, tornando a ausência de óleo no sistema de refrigeração um requisito não negociável.

Precisão Térmica Extrema

Variações de temperatura, mesmo que mínimas, podem causar expansão ou contração dos materiais, afetando a litografia e a qualidade dos chips.

Confiabilidade 24/7

A produção de semicondutores é um processo contínuo. Qualquer parada não programada no sistema de refrigeração causa perdas milionárias.

Our Solutions

Chiller Oil-Free

A tecnologia de levitação magnética elimina completamente o risco de contaminação por óleo, garantindo a integridade do seu processo produtivo em salas limpas.

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Regulations and Standards

ISO 14644-1 (Classes 4-6)

ISO 9001:2015

Normas de segurança elétrica NR-10

Benefits for Your Business

Pureza absoluta do ar e da água de processo, eliminando o risco de contaminação por óleo.

Redução de até 35% no consumo de energia em comparação com chillers de parafuso convencionais.

Confiabilidade superior com menos partes móveis e sem desgaste mecânico, garantindo operação contínua.

Controle de temperatura com precisão de ±0.1°C, essencial para a qualidade e o rendimento da produção de wafers.

Success Case

Eliminação completa das perdas por contaminação, redução de 30% nos custos de energia e aumento de 15% na produtividade geral da planta.

Frequently Asked Questions

Por que a tecnologia oil-free é crucial para a fabricação de semicondutores?

Porque a mínima contaminação por óleo pode destruir circuitos em um wafer, que valem milhões. A tecnologia oil-free elimina esse risco, garantindo a pureza necessária para a produção em salas limpas.

Qual a precisão de temperatura que os chillers da Helioterm alcançam?

Nossos chillers oil-free para esta aplicação são projetados para manter uma estabilidade de temperatura de ±0.1°C, um requisito fundamental para processos como a litografia.

Como a ausência de óleo impacta a manutenção?

A eliminação do óleo e a redução de partes móveis nos compressores de levitação magnética diminuem drasticamente a necessidade de manutenção, aumentando a disponibilidade do equipamento e reduzindo os custos operacionais.

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